|
Berührungslose Rauigkeits- und Profilmessung mit Nanometergenauigkeit
Durch Investition eines neuen 3D-Lasermikroskops mit sehr kurzwelligem Licht wird die Messung von Oberflächenrauigkeiten im Nanometerbereich ermöglicht, ohne die Probe zu berühren und damit zu beeinflussen. Auch sehr kleine Bauteile mit gewölbten Oberflächen oder engen Nuten können mit überragender Tiefenschärfe vermessen werden.
|
|
Damit ist es möglich Rauheitsmessungen nach DIN durchzuführen, die mit den üblichen Kennwerten (Ra,Rz, etc.) statistisch ausgewertet werden. Die Größe der Messbereiche lässt sich exakt definieren und die Messrichtung ist beliebig wählbar. Durch Zusammensetzen einzelner Messstellen kann ohne Minderung der hohen Genauigkeit und Auflösung eine größere Fläche vermessen werden.
|
 |
 |
 |
| Ebenso kann mit dieser Methode das Profil einer Oberfläche mit Stufen, Winkeln, etc. exakt abgebildet und vermessen werden (einschließlich Rautiefenmessung), wie dies beispielhaft an einem Schreibgerät und einem Diamantwerkzeug gezeigt ist. |
|
|
 |
| Feinste Oberflächenstrukturen auch auf polierten Oberflächen werden mit großer Tiefenschärfe deutlich sichtbar. Eine strukturierte dreidimensionale Oberfläche kann bezüglich der Flächenanteile, Tiefen- und Höhenprofilen statistisch ausgewertet werden. |
|
|
|